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《微電子技術(shù)》簡(jiǎn)介
《微電子技術(shù)》(月刊)曾用刊名：(半導(dǎo)體情報(bào))1964年創(chuàng)刊，以促進(jìn)我國(guó)納米電子技術(shù)不斷發(fā)展為辦刊目的。創(chuàng)刊4年以來(lái)，匯集了納米電子、機(jī)械、材料、制造、測(cè)量以及物理、化學(xué)和生物等不同學(xué)科新生長(zhǎng)出來(lái)的微小和微觀領(lǐng)域的科學(xué)技術(shù)群體。《微電子技術(shù)》主管單位：中華人民共和國(guó)信息產(chǎn)業(yè)部，主辦單位：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所，國(guó)內(nèi)統(tǒng)一刊號(hào)：13-1314/TN，國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)刊號(hào)：1671-4776
《微電子技術(shù)》通過(guò)報(bào)道國(guó)內(nèi)外納米電子技術(shù)方面的研究論文和綜述動(dòng)態(tài),為納米研究領(lǐng)域的技術(shù)人員提供納米技術(shù)領(lǐng)域新的突破方法和新的研究方向，為納米技術(shù)領(lǐng)域中從事原始創(chuàng)新和基礎(chǔ)探索的科研工作者、大學(xué)教師和學(xué)生提供了一個(gè)納米電子技術(shù)成果展示、轉(zhuǎn)化和技術(shù)交流的平臺(tái)。
《微電子技術(shù)》欄目設(shè)置
專(zhuān)家論談、納米器件與技術(shù)、納米材料與納料結(jié)構(gòu)、MEMS器件與技術(shù)、顯微、測(cè)量、微細(xì)加工技術(shù)與設(shè)備、企業(yè)與人物追蹤、業(yè)界快訊。
《微電子技術(shù)》雜志收錄論文：
基于高分子聚合物毫米波濾波器快速制造技術(shù)……………………………………崔建利 段俊萍 趙龍 張斌珍
薄膜體聲波諧振器的測(cè)試與表征……………………………………蔡洵 高楊 黃振華 劉海濤
KIO_4和FA/O螯合劑對(duì)銅釕CMP的影響……………………………………安衛(wèi)靜 周建偉 王帥 武鵬 王娟 王辰偉 段波
CMP中新型堿性阻擋層拋光液的性能……………………………………欒曉東 劉玉嶺 王辰偉 高嬌嬌 張文倩
真空提純對(duì)n型高阻區(qū)熔硅單晶研制的影響……………………………………龐炳遠(yuǎn) 閆萍 劉洪
《微電子技術(shù)》投稿須知
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